Представление документа в формате MARC21

Поле Инд. ПП Название Значение
Тип записи a
Библиографический уровень m
001 Контрольный номер RU/MAI/LIB/309274781
005 Дата корректировки 20241031193857.8
020 a ISBN 5-9221-0695-3
040 b Код языка каталог. rus
e Правила каталог. PSBO
a Служба первич. каталог. 10013504
041 0_ a Код языка текста rus
080 a Индекс УДК 621.382.049.77:621.52
080 a Индекс УДК 621.38:620.3
080 a Индекс УДК 621.38:537.533.2
090 a Полочн. индекс 621.382
x Авторский знак Т 232
100 1_ a Автор Татаренко Н.И.
245 10 a Заглавие Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе
h Физич. носитель Текст
260 a Место издания Москва
b Издательство ФИЗМАТЛИТ
c Дата издания 2006
300 a Объем 192 с.
b Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
504 a Библиография Библиогр.: с.178-192 (228 назв.)
520 0_ a Аннотация В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники
653 0_ a Ключевые слова МИКРОЭЛЕКТРОНИКА; НАНОТЕХНОЛОГИИ; ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА; НАНОЭЛЕКТРОНИКА; АВТОЭМИССИЯ; АВТОЭЛЕКТРОННЫЕ МИКРОПРИБОРЫ
700 12 a Другие авторы Кравченко В.Ф.
900 a Имя макрообъекта Обложка.Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе Н.И. Татаренко,2006
901 t Тип документа m
952 a Тип литературы для КСУ ВШ КНР
c Вид литературы монография