Поле |
Инд. |
ПП |
Название |
Значение |
|
|
|
Тип записи |
a |
|
|
|
Библиографический уровень |
m |
001 |
|
|
Контрольный номер |
RU/MAI/LIB/309274781 |
005 |
|
|
Дата корректировки |
20241031193857.8 |
020 |
|
a |
ISBN |
5-9221-0695-3 |
040 |
|
b |
Код языка каталог. |
rus |
|
|
e |
Правила каталог. |
PSBO |
|
|
a |
Служба первич. каталог. |
10013504 |
041 |
0_ |
a |
Код языка текста |
rus |
080 |
|
a |
Индекс УДК |
621.382.049.77:621.52 |
080 |
|
a |
Индекс УДК |
621.38:620.3 |
080 |
|
a |
Индекс УДК |
621.38:537.533.2 |
090 |
|
a |
Полочн. индекс |
621.382 |
|
|
x |
Авторский знак |
Т 232 |
100 |
1_ |
a |
Автор |
Татаренко Н.И. |
245 |
10 |
a |
Заглавие |
Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе |
|
|
h |
Физич. носитель |
Текст |
260 |
|
a |
Место издания |
Москва |
|
|
b |
Издательство |
ФИЗМАТЛИТ |
|
|
c |
Дата издания |
2006 |
300 |
|
a |
Объем |
192 с. |
|
|
b |
Иллюстрации/ тип воспроизводства |
ил. |
504 |
|
a |
Библиография |
Библиогр.: с.178-192 (228 назв.) |
520 |
0_ |
a |
Аннотация |
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники |
653 |
0_ |
a |
Ключевые слова |
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА; НАНОТЕХНОЛОГИИ; ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА; НАНОЭЛЕКТРОНИКА; АВТОЭМИССИЯ; АВТОЭЛЕКТРОННЫЕ МИКРОПРИБОРЫ |
700 |
12 |
a |
Другие авторы |
Кравченко В.Ф. |
900 |
|
a |
Имя макрообъекта |
Обложка.Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе Н.И. Татаренко,2006 |
901 |
|
t |
Тип документа |
m |
952 |
|
a |
Тип литературы для КСУ ВШ |
КНР |
|
|
c |
Вид литературы |
монография |