Поле |
Инд. |
ПП |
Название |
Значение |
|
|
|
Тип записи |
a |
|
|
|
Библиографический уровень |
m |
001 |
|
|
Контрольный номер |
6266359158ab4c61afcd3b4076c052b0 |
005 |
|
|
Дата корректировки |
20240707211011.0 |
020 |
|
a |
ISBN |
978-5-4316-0260-3 |
040 |
|
a |
Служба первич. каталог. |
10013504 |
080 |
|
a |
Индекс УДК |
681.586(075.8) |
080 |
|
a |
Индекс УДК |
621.382.049.774(075.8) |
090 |
|
a |
Полочн. индекс |
681.5(075) |
|
|
x |
Авторский знак |
С 594 |
100 |
1_ |
a |
Автор |
Соколов Л.В. |
|
|
q |
Полное имя |
Соколов Леонид Владимирович |
245 |
10 |
a |
Заглавие |
Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей с гетероструктурой "кремний на изоляторе" для авиационной и ракетно-космической техники |
|
|
b |
Продолж. заглавия |
учебное пособие для вузов по спец. 14.05.06 - Системы управления ЛА |
|
|
c |
Ответственность |
МАИ (Нац. исслед. ун-т) |
260 |
|
a |
Место издания |
Москва |
|
|
b |
Издательство |
МАИ |
|
|
c |
Дата издания |
2015 |
300 |
|
a |
Объем |
81 с. |
|
|
b |
Иллюстрации/ тип воспроизводства |
ил. |
504 |
|
a |
Библиография |
Библиогр.: с.76-79 (18 назв.) |
520 |
0_ |
a |
Аннотация |
Материал, изложенный в учебном пособии, обеспечивает закрепление знаний по технологии проектирования и производства радиокомпонентов и приборов на основе кремния, в частности микроэлектромеханических (МЭМС) измерительных тензорезистивных преобразователей на основе гетероструктуры “кремний на изоляторе” (КНИ). Помимо сведений, известных из различных источников научно-технической информации, приводятся оригинальные, полученные автором, результаты. Рассмотрены также некоторые вопросы из физики и кристаллографии полупроводниковых материалов, технологии формирования объёмных (3D) кремниевых резисторов и других кремниевых объёмных структур — то, что необходимо для выполнения расчетов электрических и конструктивных параметров 3'-резисторов с учетом электрофизических свойств кремния. Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по соответствующим специальностям, а также для инженеров и аспирантов, участвующим в выполнении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по данной тематике. |
653 |
0_ |
a |
Ключевые слова |
АВТОР МАИ; ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ; ДАТЧИКИ; ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ; ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ |
856 |
40 |
u |
URL |
http://elibrary.mai.ru/MegaPro/Download/ToView/1165?idb=NewMAI2014 |
900 |
|
a |
Имя макрообъекта |
Соколов Л.В. Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей |
900 |
|
a |
Имя макрообъекта |
Обложка.Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей с гетероструктурой |
901 |
|
t |
Тип документа |
m |
952 |
|
a |
Тип литературы для КСУ ВШ |
КУпР |
|
|
a |
Тип литературы для КСУ ВШ |
ЭУпР |
|
|
b |
Гриф литературы для ВШ |
Доп.УМО |
|
|
d |
Специальность |
24.05.06 Системы управления летательными аппаратами |
|
|
f |
Кафедра |
С-14 |
|
|
c |
Вид литературы |
учебное пособие |