| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | m | |||
| 001 | Контрольный номер | RU/MAI/LIB/370354232 | ||
| 005 | Дата корректировки | 20250519122916.5 | ||
| 040 | b | Код языка каталог. | rus | |
| e | Правила каталог. | PSBO | ||
| a | Служба первич. каталог. | 10013504 | ||
| 041 | 0_ | a | Код языка текста | rus |
| 080 | a | Индекс УДК | 621.382.049.77-022.532:533.93(075.8) | |
| 080 | a | Индекс УДК | 621.382.049.771.14(075.8) | |
| 090 | a | Полочн. индекс | 621.382(075) | |
| x | Авторский знак | Г 606 | ||
| 100 | 1_ | a | Автор | Голишников А.А. |
| 245 | 10 | a | Заглавие | Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" |
| c | Ответственность | Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) | ||
| 260 | a | Место издания | М. | |
| b | Издательство | МИЭТ | ||
| c | Дата издания | 2011 | ||
| 300 | a | Объем | 39 с. | |
| b | Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. | ||
| 440 | _0 | a | Серия | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление: Наноэлектроника |
| 504 | a | Библиография | Библиогр.: с. 38 (3 назв.) | |
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | МИКРОЭЛЕКТРОНИКА; ЭЛЕКТРОНИКА; НАНОЭЛЕКТРОНИКА |
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Путря М.Г. |
| 901 | t | Тип документа | m | |
| 952 | a | Тип литературы для КСУ ВШ | БУмР | |
| e | Дисциплина | Плазменные технологии в наноэлектронике | ||
| h | Направление | 210100 Электроника и наноэлектроника | ||
| c | Вид литературы | учебно-методическое издание |