| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | m | |||
| 001 | Контрольный номер | 6266359158ab4c61afcd3b4076c052b0 | ||
| 005 | Дата корректировки | 20240707211011.0 | ||
| 020 | a | ISBN | 978-5-4316-0260-3 | |
| 040 | a | Служба первич. каталог. | 10013504 | |
| 080 | a | Индекс УДК | 681.586(075.8) | |
| 080 | a | Индекс УДК | 621.382.049.774(075.8) | |
| 090 | a | Полочн. индекс | 681.5(075) | |
| x | Авторский знак | С 594 | ||
| 100 | 1_ | a | Автор | Соколов Л.В. |
| q | Полное имя | Соколов Леонид Владимирович | ||
| 245 | 10 | a | Заглавие | Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей с гетероструктурой "кремний на изоляторе" для авиационной и ракетно-космической техники |
| b | Продолж. заглавия | учебное пособие для вузов по спец. 14.05.06 - Системы управления ЛА | ||
| c | Ответственность | МАИ (Нац. исслед. ун-т) | ||
| 260 | a | Место издания | Москва | |
| b | Издательство | МАИ | ||
| c | Дата издания | 2015 | ||
| 300 | a | Объем | 81 с. | |
| b | Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. | ||
| 504 | a | Библиография | Библиогр.: с.76-79 (18 назв.) | |
| 520 | 0_ | a | Аннотация | Материал, изложенный в учебном пособии, обеспечивает закрепление знаний по технологии проектирования и производства радиокомпонентов и приборов на основе кремния, в частности микроэлектромеханических (МЭМС) измерительных тензорезистивных преобразователей на основе гетероструктуры “кремний на изоляторе” (КНИ). Помимо сведений, известных из различных источников научно-технической информации, приводятся оригинальные, полученные автором, результаты. Рассмотрены также некоторые вопросы из физики и кристаллографии полупроводниковых материалов, технологии формирования объёмных (3D) кремниевых резисторов и других кремниевых объёмных структур — то, что необходимо для выполнения расчетов электрических и конструктивных параметров 3'-резисторов с учетом электрофизических свойств кремния. Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по соответствующим специальностям, а также для инженеров и аспирантов, участвующим в выполнении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по данной тематике. |
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | АВТОР МАИ; ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ; ДАТЧИКИ; ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ; ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ |
| 856 | 40 | u | URL | http://elibrary.mai.ru/MegaPro/Download/ToView/1165?idb=NewMAI2014 |
| 900 | a | Имя макрообъекта | Соколов Л.В. Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей | |
| 900 | a | Имя макрообъекта | Обложка.Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей с гетероструктурой | |
| 901 | t | Тип документа | m | |
| 952 | a | Тип литературы для КСУ ВШ | КУпР | |
| a | Тип литературы для КСУ ВШ | ЭУпР | ||
| b | Гриф литературы для ВШ | Доп.УМО | ||
| d | Специальность | 24.05.06 Системы управления летательными аппаратами | ||
| f | Кафедра | С-14 | ||
| c | Вид литературы | учебное пособие |