| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | m | |||
| 001 | Контрольный номер | 67430dbcf94542ca9c1980629ed466cc | ||
| 005 | Дата корректировки | 20260126102318.4 | ||
| 040 | a | Служба первич. каталог. | 10013504 | |
| b | Код языка каталог. | rus | ||
| e | Правила каталог. | PSBO | ||
| 041 | 0_ | a | Код языка текста | rus |
| 080 | a | Индекс УДК | 621.382.049.77(043.3) | |
| 090 | a | Полочн. индекс | 621.382 | |
| x | Авторский знак | К 85 | ||
| r | Идентификатор организации | 10013504 | ||
| 100 | 1_ | a | Автор | Крылов В.П. |
| 245 | 10 | a | Заглавие | Исследование и разработка методики контроля точности технологических процессов крупносерийного производства интегральных схем |
| b | Продолж. заглавия | автореф. дис. ...канд. техн. наук: спец. 05.12.18 - Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование | ||
| c | Ответственность | науч.рук. А.Д.Фролов; Моск. энерг. ин-т (МЭИ) | ||
| 260 | a | Место издания | Москва | |
| c | Дата издания | 1983 | ||
| 300 | a | Объем | 22 с. | |
| b | Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. | ||
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ; ПРОИЗВОДСТВО ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ; ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ-ПРОИЗВОДСТВО; КОНТРОЛЬ ТОЧНОСТИ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ; АВТОРЕФЕРАТЫ |
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Фролов А.Д. |
| e | Роль лиц | научный руководитель | ||
| 901 | t | Тип документа | r | |
| 952 | a | Тип литературы для КСУ ВШ | БАНР | |
| d | Специальность | 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование | ||
| g | № дис. совета | К.053.18.05 | ||
| c | Вид литературы | автореферат |