Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника". - Москва : БИНОМ.Лаборатория знаний, 2010. - 164 с. : ил. - ISBN 978-5-94774-913-7.
Ч. 2 / В.М. Рощин, М.В. Силибин. - 180 с. : ил. - Авт. ч.1 : Раскин А.А. и Прокофьева В.К. - Библиогр.:с.180 (8 назв.). - ISBN 978-5-94774-910-6 (ч. 2).

Шифры: 620.1(075) - Т 384

Аннотация: Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области

Экземпляры: Всего: 18, из них: абнл-10, чзнл-3, чзуч-5

Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника". - Москва : БИНОМ.Лаборатория знаний, 2010. - 164 с. : ил. - ISBN 978-5-94774-913-7.
Ч. 1 / А.А. Раскин, В.К. Прокофьева. - 164 с. : ил. - Авт. ч.2 : Рощин В.М. и Силибин М.В. - Библиогр.:с.164(13 назв.). - ISBN 978-5-94774-909-0 (ч. 1).

Шифры: 620.1(075) - Т 384

Аннотация: В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.

Экземпляры: Всего: 18, из них: абнл-10, чзнл-3, чзуч-5