Голишников А.А.
Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" / А.А. Голишников, М.Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники ( техн. ун-т). - М. : МИЭТ, 2011. - 39 с. : ил. - (Учебно-методический комплекс для магистров. Направление: Наноэлектроника). - Библиогр.: с. 38 (3 назв.).

Шифры: 621.382(075) - Г 606

Экземпляры: Всего: 1, из них: чзнл-1

Голишников А.А.
Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" / А.А. Голишников, М.Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники ( техн. ун- т). - М. : МИЭТ, 2011. - 172 с. : ил. - (Учебно-методический комплекс для магистров. Направление: Наноэлектроника). - Библиогр.:с.167- 169 ( 27 назв.). - ISBN 978-5-7256-0656-0.

Шифры: 621.382(075) - Г 606

Экземпляры: Всего: 1, из них: чзнл-1

Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике" / сост. М.Г.Путря, А.А.Голишников ;Моск. гос. ин-т электрон. техники ( техн. ун-т). - М. : МИЭТ, 2011. - 43 с. : табл. - (Учебно-методический комплекс для магистров. Направление: Наноэлектроника). - Сост. указаны на обороте тит.л. - Библиогр.:с 42 ( 4 назв.).

Шифры: 621.382(075) - П 765

Экземпляры: Всего: 1, из них: чзнл-1